台式掃描電鏡

發佈時間:2020-03-06
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儀器名稱

台式掃描電鏡

型號

EM 30

生產廠家

韓國庫賽姆(COXEM

主要技術指標

台式掃描電鏡

1、光學系統

光源:自動控制,鎢絲陰極, 預對中燈絲。聚焦:具有手動及自動聚焦功能。分辨率 : 8.0nm @30KV  SE Image;放大倍數 : x20 ~ x100,000;加速電壓: 1kv - 30kv;磁透鏡系統 :雙聚光鏡;物鏡光闌 : 4位可移動,搖擺對中;掃描光柵電位移及旋轉: +/-50um 0~360°

2、樣品室系統

樣品室: 6個接口,可接配內置外置EDS;樣品台:三軸馬達驅動, X (35mm) Y (35mm)T (0~45°)R360Z向手動(5-50mm);樣品尺寸(最大) : 直徑60mm 高度45mm  

3、真空系統

全自動 (真空時間: 小於2分鐘) 前級真空: 旋片式機械泵; 高真空 : 渦輪分子泵 4X10-3 Pa

4、探測器系統

探測器:  E-T型二次電子探測器;高靈敏四分割半導體背散射電子探測器(選配);掃描模式: 選區 (320 x 240 pixel) TV全屏掃描模式:(640 x 480pixel), 三檔全屏慢掃描模式 (800 x 600 pixel) 照相模式:1280 x 9602560 x 19205120 x 3840 pixel,示波器掃描模式;圖像格式 : JPG, TIFF, BMP  ;圖像顯示器: 21.5 LCD Monitor  ;自動控制功能: 電子槍飽和, 電子槍對中, 電子槍偏壓, 亮度對比度, 聚焦;工作距離 : 4 ~50mm;控制系統 : USB通訊接口計算機控制,Dell i5 PC, 21.5英寸顯示器,獨立顯卡 2G內存,操作系統 : Windows 7 ;圖像處理分析軟件 :  圖像標註編輯存儲, 長度、角度,面積等測量功能, 實時圖像灰度直方圖顯示。 

布魯克能譜儀

主要參數:

1XFlash®探頭 430M:能量分辨率< 133 eV (MnKa, 100 000 cps), 1-100 000 cps分辨率保持不變;最大輸入計數率> 150 kcps;活性面積30 mm2;超薄窗口,元素探測範圍硼(5)至鎇(95)-完全無振動,完全免維護,帕爾貼效應致冷。

2XFlash® MIN SVE信號處理單元 (D330),最大可輸出計數率60kcps;超低死時間混合脈衝數據處理器;完全由軟件自動控制的硬件校準

3、輸入輸出掃描系統和用於實時譜圖採集的 Mega Link接口適配器

4ESPRIT Spectrum ,用於譜圖採集和定性分析的軟件,帶有實時模式和最完備的原子數據庫

5ESPRITUQuant,用於無標樣定量譜圖分析的自動軟件工具

6ESPRIT  UQuantQ113),供專業用戶使用的擴展譜圖分析選項

7ESPRIT  UQuant,用於用戶自定義譜圖評估方法的編輯器

8ESPRIT  Scan(Q201),從兩個可選擇的信號源,例如 SE BSE,採集圖像的軟件,以及用於外部掃描系統的驅動器( 4096x4096像素)

9ESPRIT  Multipoint,自動多點和選區分析軟件

10ESPRIT  Line(Q203),存儲譜圖數據庫的超快速線掃描軟件

11ESPRIT  Map(Q204),超快速元素麵分佈

12ESPRIT  Project(Q126),數據管理和歸檔系統

13ESPRIT  Report(Q121),生成報告和格式化打印

14ESPRIT  SEMLink(Q122),與 SEM的數據通信

15Mylar

主要用途

/測試項目

掃描電鏡是以電子束作為光源,電子束在加速電壓的作用下經過電磁透鏡聚焦,在掃描線圈的作用下,在試樣錶面做光柵狀掃描,產生各種同試樣性質有關的物理信息(如二次電子,背反射電子),然後加以收集和處理,從而獲得表徵試樣形貌的掃描電子像。

掃描電鏡(SEM)廣泛地應用於金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。

在材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料等領域,進行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素麵掃描和線掃描分佈測量,晶體/晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。

能譜儀(EDS-檢測特征X射線能量,稱為能量色散譜儀(Energy Dispersive Spectroscopy),簡稱能譜儀(EDS),主要是對材料微區化學成分進行定性及定量分析,可以用於金屬、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析等。

安放地點

資環樓220

負責人

蔣文傑(13984848440